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本書在總結國內外研究發展現狀的基礎上，著重介紹作者多年來對半導體芯片製造系統建模、調度、產能規劃等方面的研究成果。主要包括：半導體芯片製造系統的特點、生產調度控制的難點及國內研究現狀，拓展型面向對象Petri網的層次化建模方法，基於規則和基於模型的實時派工控制模型，ReS2仿真平臺的基本架構及關鍵技術，基於隨機規劃的芯片製造系統產能規劃方法，基於多規則組合的兩階段的多目標優化調度方法，基於問題分解的智能調度方法，動態瓶頸的調度策略及基於約束權重的動態在製品水平控制方法，時變多目標優化調度方法。 本書的主要讀者對象是從事半導體芯片製造系統計劃、調度控制等相關領域的研究人員以及芯片製造的生產管理和相關領域的工程技術人員。此外，本書對于那些從事其他製造系統研究和從事生產管理的人員也具有參考價值。
目次
第1章 半導體芯片製造概述
1.1 概述
1.1.1 半導體產業概況
1.1.2 半導體晶圓製造系統特徵
1.1.3 半導體晶圓製造系統調度現狀
1.2 半導體晶圓製造系統簡介
1.2.1 半導體晶圓製造過程
1.2.2 生產績效指標
1.3 半導體晶圓製造系統建模研究
1.3.1 研究狀況簡介
1.3.2 建模方法小結
1.4 半導體晶圓製造系統調度方法
1.4.1 啟發式規則
1.4.2 數學規劃法
1.4.3 計算智能
1.4.4 人工智能
1.4.5 規則組合調度方法研究現狀
1.4.6 SWFS調度方法小結
參考文獻
第2章 基於拓展型面向對象Petri網的SWFS建模與分析
2.1 引言
2.2 拓展型面向對象Petri網的定義
2.2.1 EOPNs的定義
2.2.2 對象
2.2.3 對象互連機制
2.3 EOPNs的建模過程
2.3.1 單個設備的OPN模型
2.3.2 工作站的EOPNs模型
2.3.3 加工區域的EOPNs模型
2.3.4 系統的EOPNs模型
2.4 系統建模案例
2.5 EOPNs模型的動態性能分析
2.5.1 死鎖分析
2.5.2 EOPNs模型的沖突分析
2.6 小結
參考文獻
第3章 基於賦時EOPNs模型的自治與協調實時派工機制
3.1 引言
3.2 “建模-控制-仿真”一體化方法
3.3 基於賦時EOPNs的SWFS性能建模
3.4 基於賦時EOPNs的實時狀態監控系統
3.4.1 晶圓加工機器的實時狀態監控器
3.4.2 在製品緩沖區和自動存取機的實時狀態監控器
3.5 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.1 基於賦時EOPNs模型的混合式實時派工控制系統
3.5.2 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.3 基於自治與協調的動態瓶頸實時派工算法
3.5.4 其他算法在基於自治與協調實時派工機制下的應用
3.6 小結
參考文獻
第4章 芯片製造系統仿真平臺及仿真分析
4.1 引言
……
第5章 芯片製造系統產能規劃
第6章 基於規則組合的自適應優化調度方法
第7章 芯片製造系統智能調度方法
第8章 面向瓶頸控制的SWFS調度方法
第9章 SWFS的時變多目標生產調度方法
1.1 概述
1.1.1 半導體產業概況
1.1.2 半導體晶圓製造系統特徵
1.1.3 半導體晶圓製造系統調度現狀
1.2 半導體晶圓製造系統簡介
1.2.1 半導體晶圓製造過程
1.2.2 生產績效指標
1.3 半導體晶圓製造系統建模研究
1.3.1 研究狀況簡介
1.3.2 建模方法小結
1.4 半導體晶圓製造系統調度方法
1.4.1 啟發式規則
1.4.2 數學規劃法
1.4.3 計算智能
1.4.4 人工智能
1.4.5 規則組合調度方法研究現狀
1.4.6 SWFS調度方法小結
參考文獻
第2章 基於拓展型面向對象Petri網的SWFS建模與分析
2.1 引言
2.2 拓展型面向對象Petri網的定義
2.2.1 EOPNs的定義
2.2.2 對象
2.2.3 對象互連機制
2.3 EOPNs的建模過程
2.3.1 單個設備的OPN模型
2.3.2 工作站的EOPNs模型
2.3.3 加工區域的EOPNs模型
2.3.4 系統的EOPNs模型
2.4 系統建模案例
2.5 EOPNs模型的動態性能分析
2.5.1 死鎖分析
2.5.2 EOPNs模型的沖突分析
2.6 小結
參考文獻
第3章 基於賦時EOPNs模型的自治與協調實時派工機制
3.1 引言
3.2 “建模-控制-仿真”一體化方法
3.3 基於賦時EOPNs的SWFS性能建模
3.4 基於賦時EOPNs的實時狀態監控系統
3.4.1 晶圓加工機器的實時狀態監控器
3.4.2 在製品緩沖區和自動存取機的實時狀態監控器
3.5 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.1 基於賦時EOPNs模型的混合式實時派工控制系統
3.5.2 基於自治與協調的實時派工機制
3.5.3 基於自治與協調的動態瓶頸實時派工算法
3.5.4 其他算法在基於自治與協調實時派工機制下的應用
3.6 小結
參考文獻
第4章 芯片製造系統仿真平臺及仿真分析
4.1 引言
……
第5章 芯片製造系統產能規劃
第6章 基於規則組合的自適應優化調度方法
第7章 芯片製造系統智能調度方法
第8章 面向瓶頸控制的SWFS調度方法
第9章 SWFS的時變多目標生產調度方法
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