微系統自動化裝配技術（簡體書）

本書對微系統自動化裝配技術的有關基本理論和方法做了較全面的論述，薈萃了微系統自動化裝配技術領域的有關資料和科研成果，反映了這一學科領域的最新進展。
全書共分為7章，內容包括微系統裝配技術概述、微夾持驅動與操作技術、微系統裝配視覺技術、微系統裝配控制技術、微型機器人技術、微納自組裝技術、微系統裝配設計與實踐。

李玉和，清華大學博士，副教授。現擔任“中國儀器儀表學會精密機械分會”常務理事，《應用科學學報》編委。研究方向：精密測控、儀器科學與技術等，負責和參加了國家973重大項目、國防項目（海裝）、國防科工委九五預研、國家自然基金、省部級科研項目、高校博士點基金等科研項目，發表學術論文60佘篇，其中SCI和EI、ISTP檢索20篇，授權國家發明專利7項。主講“精密儀器設計”清華大學本科生專業課程。

第1章 微系統裝配技術概述
　1.1 概述
1.1.1 微機電系統（MEMS）概述
1.1.2 微裝配（Micro Assembly）系統概述
　1.2 微系統裝配技術
1.2.1 微裝配發展階段
1.2.2 微裝配方法
1.2.3 微裝配分類
　1.3 微裝配系統的組成、功能及特點
1.3.1 系統組成
1.3.2 系統特點
1.3.3 系統功能
　1.4 微系統裝配發展方向
第2章 微夾持驅動與操作技術
　2.1 微夾持驅動與操作技術概述
2.1.1 微夾持技術概況
2.1.2 微夾持器類型
　2.2 微夾持驅動技術
2.2.1 靜電驅動
2.2.2 熱驅動
2.2.3 電磁驅動
2.2.4 壓電驅動
2.2.5 超磁致伸縮驅動
　2.3 微操作技術
2.3.1 微操作技術概述
2.3.2 微操作的特點
2.3.3 微操作黏附現象
2.3.4 人—機交互微操作環境
2.3.5 典型微操作技術及應用
　2.4 微夾持器的設計與實踐
2.4.1 微夾持器總體方案
2.4.2 微夾持器的結構設計
2.4.3 微夾持器加工工藝設計
2.4.4 微夾持特性分析與仿真
第3章 微系統裝配視覺技術
3.1 視覺技術概述
3.1.1 基本原理
3.1.2 視覺系統的組成
3.2 視覺系統功能與實現
3.2.1 系統功能
3.2.2 視覺實現
3.3 圖像處理技術
3.3.1 圖像預處理
3.3.2 邊緣檢測
3.3.3 目標識別
3.3.4 圖像特徵跟蹤
3.4 自動調焦技術
3.4.1 自動調焦原理與方法
3.4.2 圖像處理法自動調焦
3.4.3 微裝配自動調焦實現
3.5 深度信息提取
3.6 視覺技術的應用
3.6.1 典型微裝配視覺系統
3.6.2 發展趨勢
第4章 微系統裝配控制技術
4.1 概述
4.2 控制技術
4.2.1 虛擬現實技術
4.2.2 視覺伺服控制技術
4.2.3 過程仿真
4.2.4 人-機交互技術
4.3 典型應用
4.3.1 基於微機器人的微裝配系統FMMS
4.3.2 基於視覺伺服的微裝配系統
第5章 微型機器人技術
5.1 微型機器人概述
5.1.1 概述
5.1.2 系統分類
5.1.3 系統組成
5.2 微型機器人驅動技術
5.2.1 驅動方法概述
5.2.2 壓電微電機驅動
5.2.3 電磁微電機驅動
5.2.4 磁致伸縮驅動
5.3 微機器人裝配發展趨勢及典型應用
5.3.1 發展趨勢
5.3.2 典型應用
第6章 微/納自組裝技術
6.1 微納自組裝概述
6.1.1 基本原理
6.1.2 系統特點
6.2 自組裝概念與原理
6.2.1 自組裝概念
6.2.2 自組裝分類及原理
6.3 微納系統自組裝技術
6.3.1 納米技術的發展
6.3.2 MEMS中的自組裝技術
6.4 自組裝的典型應用及發展趨勢
6.4.1 製造納米機械器件
6.4.2 用自組裝進行微器件裝配
6.4.3 自組裝的發展趨勢
第7章 微系統裝配設計與實踐
7.1 系統總體設計
7.1.1 系統組成
7.1.2 系統模塊
7.1.3 系統建模
　7.2 微動工作臺設計
7.2.1 結構組成
7.2.2 驅動器設計
7.2.3 柔性機構的設計
　7.3 驅動控制系統
7.3.1 驅動系統
7.3.2 控制系統
　7.4 系統裝配實驗
7.4.1 系統標定
7.4.2 實驗結果與分析
參考文獻