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商品簡介
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相對於人們對涉及的非傳統物理的理解，MEMS技術發展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促進MEMS技術的提高，才有可能進行微機電系統的設計和製造，並讓其在現有的和設想的各個領域廣泛應用。本書是MEMS手冊中的基礎部分，提供有關MEMS理論和技術基礎的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學、流體力學、力學、光學、電、潤滑，還包含了控制理論、分散式控制及軟計算的內容。這些內容涉及未來應用的各種重要基礎知識，將其應用於微感測器和微執行器能夠實現節約能源的有效控制並提高人工裝置性能。本書可供MEMS技術人員和設計人員使用，也可供MEMS專業的高年級本科生和研究生參考。
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