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矽基MEMS製造技術（簡體書）
作者：
王躍林
出版社：
電子工業出版社
出版日：
2022/04/01
裝訂：
精裝
隨著MEMS技術的不斷成熟和全面走向應用，MEMS芯片的量產問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產必須在集成電路生產線上進行，但是MEMS芯片製造與集成電路製造相比有明顯不同，這使得集成電路生產線在轉型製造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝製造三維微機械結構，進而實現矽基MEMS芯片的批量製造，系統介紹了矽基MEMS芯片製造技術。由於MEMS涉及學科較多，為了讓不同學科背景的人能夠快速讀懂本書，本書先對MEMS的來龍去脈及MEMS出現的原因進行了簡單介紹，然後詳細介紹了相關內容，儘量做到通俗易懂。希望讀者通過本書能全面瞭解矽基MEMS芯片製造技術，為從事與MEMS相關的工作打下基礎。
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