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微機電系統（簡體書）

作者：苑偉政 出版社：西北工業大學出版社 出版日：2011/04/29 裝訂：平裝

《微機電系統》是在教育部對研究生推薦教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統領域最新的研究成果編著而成的。全書共分為六章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，《微機電系統》結合大量工藝實例，易于學生理解，有助于提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源于實驗室的課題研究實

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微機電系統(MEMS)製造技術（簡體書）

作者：苑偉政 出版社：科學出版社 出版日：2021/09/27 裝訂：精裝

《微納制造的基礎研究學術著作叢書：微機電系統（MEMS）制造技術》主要論述微機電系統（MEMS）制造技術

定價：768 元，優惠價：87 668

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MEMS集成設計技術及應用（簡體書）

作者：苑偉政; 謝建兵; 焦文龍 出版社：國防工業出版社 出版日：2014/12/01 裝訂：平裝

《MEMS集成設計技術及應用》作者長期開展了微機電系統集成設計技術研究和設計工具的實現工作，提出了泛結構化集成設計技術，並建立了微機電系統集成設計工具MEMSGarden。《MEMS集成設計技術及應用》首先簡要論述MEMS集成設計技術及設計工具；然後對MEMS集成設計中的關鍵技術進行了詳細講解；最後，對作者開發的MEMS集成設計工具MEMSGarden做簡要介紹，並以示例的形式詳細介紹了其使用方法

定價：594 元，優惠價：87 517

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微機電系統(第2版)（簡體書）

作者：苑偉政; 喬大勇; 虞益挺 出版社：西北工業大學出版社 出版日：2021/06/01 裝訂：平裝

本書是在對研究生教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統（MEMS）領域的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，以及典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，本書結合大量工藝實例，易於學生理解，有助於提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源於實驗室的課題研究實例，內容充實新穎。本書可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統相關課程的教材，也可供工程技術等專業人員參考。

定價：414 元，優惠價：87 360

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