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微機電系統(第2版)（簡體書）
作者：
苑偉政
;
喬大勇
;
虞益挺
出版社：
西北工業大學出版社
出版日：
2021/06/01
裝訂：
平裝
本書是在 對研究生 教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統（MEMS）領域 的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，以及典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，本書結合大量工藝實例，易於學生理解，有助於提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源於實驗室的課題研究實例，內容充實新穎。 本書可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統相關課程的教材，也可供工程技術等專業人員參考。
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