微機電系統基礎(簡體書)
商品簡介
本書適合于微機電系統(MEMS)、微電子、機械工程、儀器儀表等專業的高年級本科生作為教材,也適合于這些領域的研究生及科技人員參考。
作者簡介
Chang Liu在微機電系統MEMS領域研究已經14年,發表120余篇國際期刊論文及會議論文.他的研究工作被廣泛引用。他為本科生和研究生開設了多門課程,包括MEMS、固體電子學、機電學和傳熱學。他因利用MEMS技術開發人工毛發細胞方面的工作.于1 998年獲得美國國家科學基金會的ICAREER獎。他目前擔任國際期刊JMEMS的編委和IEEE SenIsors Journal的副主編以及IEEE MEMS,IEEE Sensors等多種國際會議程序委員會委員。
目次
教師備忘錄
前言
第l章 緒論
1.0 預覽
1.1 MEMS研究發展史
1.2 MEMS的本質特徵
1.2.1 小型化
1.2.2 微電子集成
1.2.3 高精度的批量製造
1.3 器件:傳感器和執行器
1.3.1 能量域和換能器
1.3.2 傳感器
1.3.3 執行器
總結
習題
參考文獻
第2章 微製造導論
2.O 預覽
2.1 微製造綜述
2.2 微電子製造工藝
2.3 硅基MEMS工藝
2.4 新材料和新製造工藝
2.5 工藝中需考慮的因素
總結
習題
參考文獻
第3章 電學與機械學基本概念
3.0 預覽
3.1 半導體的電導率
3.1.1 半導體材料
3.1.2 載流子濃度的計算
3.1.3 電導率和電阻率
3.2 晶面和晶向
3.3 應力和應變
3.3.1 內力分析:牛頓運動定律
3.3.2 應力和應變的定義
3.3.3 張應力和張應變之間的一般標量關係
3.3.4 硅和相關薄膜的力學特性
3.3.5 應力一應變的一般關係
3.4 簡單負載條件下撓性梁的彎曲
3.4.1 梁的類型
3.4.2 純彎曲下的縱向應變
3.4.3 梁的撓度
3.4.4 求解彈性形變常數
3.5 扭轉變形
3.6 本征應力
3.7 諧振頻率和品質因素
3.8 彈簧彈性常數和諧振頻率的有源調節
3.9 推薦教科書清單
總結
習題
參考文獻
第4章 靜電敏感與執行原理
4.0 預覽
4.1 靜電傳感器與執行器概述
4.2 平行板電容器
4.2.1 平行板電容
4.2.2 偏壓作用下靜電執行器的平衡位置
4.2.3平行板執行器的吸合(pull—in)效應
4.3 平行板電容器的應用
4.3.1 慣性傳感器
4.3.2 壓力傳感器
4.3.3 流量傳感器
4.3.4 觸覺傳感器
4.3.5 平行板執行器
4.4 叉指電容器
4.5 梳狀驅動器件的應用
4.5.1 慣性傳感器
4.5.2 執行器
……
第5章 熱敏感與執行原理
第6章 壓阻傳感器
第7章 壓電敏感與執行原理
第8章 磁執行器
第9章 敏感與執行原理總結
第10章 體微機械加工與硅各向異性腐蝕
第11章 表面微機械加工
第12章 聚合物MEMS
第13章 微流控學應用
第14章 掃描探針顯微鏡部件
第15章 光MEMS
第16章 MEMS技術組織與管理
附錄A 材料特性
參考文獻
附錄B 梁與膜的常用力學公式
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