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商品簡介
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本書全面、系統地介紹了積體電路製造技術，內容包括積體電路製造概述、多晶半導體的製備、單晶半導體的製備、晶圓製備、薄膜製備、金屬有機物化學氣相沉積、光刻、刻蝕及摻雜。書中簡要介紹了積體電路製造的基本理論基礎，系統地介紹了多晶半導體、單晶半導體與晶圓的製備，詳細介紹了薄膜製備、光刻與刻蝕及摻雜等工藝。本書以半導體矽材料積體電路製造為主，兼顧化合物半導體材料積體電路製造。
本書可供積體電路製造行業從業人員學習參考，也可作為微電子、光電子等相關專業教材。
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