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2016年以前 (1)

作者


(美)劉(Liu,C) (1)

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機械工業出版社 (1)

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微機電系統基礎(簡體書)
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1.微機電系統基礎(簡體書)

作者:(美)劉(Liu; C)  出版社:機械工業出版社  出版日:2007/11/01 裝訂:平裝
本書循序漸進,體系嚴密,在內容組織上是一本教科書,已被美國一些著名大學采用。全書共分16章。第1、2章概括了基本傳感原理和製造方法;第3章討論了當今MEMS實踐中所必須掌握的電學和機械工程基本知識;第4~9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法,及其相關的傳感器與執行器;第10—11章詳細介紹了微製造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術,而器件製造方法則插入到實例研究中;第12章
定價:294 元, 優惠價:87 256
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