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杜文漢

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矽基高k氧化物鍶矽界面緩衝層的研究(簡體書)
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出版日:2018/12/01 作者:杜文漢  出版社:江蘇大學出版社  裝訂:平裝
Sr/Si界面在晶形高介電常數(k)氧化物-半導體體系的外延生長中具有重要的作用, 是形成外延高k氧化物必不可少的緩衝界面層。本書深入研究了不同Sr/Si再構表面的幾何及電子結構,並探討相關的物理機制。主要 分為以下3個部分:(1)第一部分:Si(100)襯底上的 Sr/Si再構;(2)第二部分:Si(111)襯底上的Sr/Si 再構;(3)第三部分:超薄SrTiO3膜的高溫晶化。
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