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軍用微系統設計與製造(簡體書)
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軍用微系統設計與製造(簡體書)

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商品簡介
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本書按照高等學校兵器科學與技術專業的教學要求編寫, 強調微系統 (MEMS) 技術與武器系統的緊密結合, 在闡述微系統技術的基礎物理理論、典型微納器件、加工製備工藝和未來發展趨勢的基礎上, 重點介紹微系統技術在軍事國防領域的應用。全書共7章, 主要內容包括: 微系統技術基礎、典型微系統原理、典型微傳感器技術典型微執行器技術、典型微能源技術、微系統加工技術、智能MEMS彈藥引信技術等。

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