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商品簡介
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本書分為兩個部分；第一部分包括SOI材料及製造，第二部分包括SOI器件及應用。本書的前幾章介紹SOI晶片的製造技術，先進SOI材料的電學特性，以及短溝道SOI半導體晶體管的建模。涉及部分耗盡及全耗盡二種SOI技術。第6章和第7章關注的是無結及氧化物上鰭（fin）型場效應晶體管。還介紹了CMOS器件變化趨勢和靜電放電中的一些關鍵技術。第二部分涵蓋最近的和已成熟的技術。它們包括射頻應用的SOI晶體管，超低功耗應用的SOI
CMOS電路，以及利用SOI的三維集成來提高器件性能的方法。最後，第13章和第14章考慮的是用於光電集成電路、微機電系統和納機電傳感器的SOI技術。
CMOS電路，以及利用SOI的三維集成來提高器件性能的方法。最後，第13章和第14章考慮的是用於光電集成電路、微機電系統和納機電傳感器的SOI技術。
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