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微電子機械微波通訊信號檢測集成系統（簡體書）
作者：
廖小平
;
張志強
;
易真翔
;
閆浩
出版社：
科學出版社
出版日：
2019/12/16
裝訂：
精裝
《微電子機械微波通訊信號檢測集成系統》共分為12章，從第1章共性的設計理論和實現方法出發，對MEMS微波器件進行了一系列設計、實驗和系統級S參數模型的研究。這些器件包括：第2章的一分為二微波功分器，第3章的間接加熱熱電式功率傳感器，第4章的直接加熱熱電式功率傳感器，第5章的電容式功率傳感器，第6章的電容式和熱電式級聯功率傳感器，以及集成MEMS系統，第7章的在線電容耦合式微波功率檢測器，第8章的在
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