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微傳感器-MEMS與智能器件(簡體書)
作者:
(英)加德納
;
(美)瓦拉丹
;
(美)阿瓦德卡里姆
出版社:
中國質量出版社
出版日:
2007/09/01
裝訂:
平裝
微傳感器和MEMS(微電子機械系統)正在使半導體工業領域發生一場新的變革。微系統也稱為”芯片系統”,將微電子電路和微傳感器及微執行器組合起來。這一新興領域已經顯示出它們在應用中未來發展的廣闊前景,應用范圍從電子鼻和智能耳到微型鑷子及打印機噴墨頭。 本書全面地介紹了微傳感器的製作工藝,是一部論述微傳感器、MEMS和智能器件成功應用的重要專著。 內容包括: 傳統和新型製作工藝介紹.包括硅的體微機械加工
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