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微機電系統技術入門
作者：
藤田博之
出版社：
全華圖書
出版日：
2004/10/01
裝訂：
平裝
在本書中，介紹半導體微細技術來製作微小機械，從一開始製作微型齒輪到微型馬達的運轉，進而利用微加工和微機械技術運用在商品化，例如大部分從微鏡面反射的畫像投影顯示器、汽車安全氣囊起動的加速度感測器、巡航用的陀螺儀、噴墨印表機的噴頭等各種製品。微機械技術的特徵，是製作微細立體結構，應用半導體微細技術。當然還要加上半導體微加工，各種波束加工，微細機械加工，微細組裝，自我組織化組裝等輔助用法。兩者之間決定性
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