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微機電系統概論（簡體書）
作者：
邱麗芳
;
謝仲添
出版社：
冶金工業出版社
出版日：
2020/10/01
裝訂：
平裝
本書是“微機電系統”課程的配套教材，系統介紹了微機電系統的特點及應用前景、微機電系統的材料、微機電系統的加工、微機電系統的組成、微機電系統的設計及測試，重點介紹了適合於微機電系統結構設計的柔順機構和平面折展機構的分析和設計方法。各章末均附有複習思考題，便於學生掌握所學知識。本書為高等院校機械類專業的本科生教學用書，也可供相關專業的工程技術人員和研究人員參考。
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