陳譯

本書內容從半導體相關基礎知識入手，首先介紹半導體的物理特性，以及與其相關的晶體、原子、能帶理論、空穴、摻雜等基本概念；再從晶體管入手，講述晶體管的結構、工作原理、製備工藝，以及集成電路的相關知識；最後，落地到應用，介紹了半導體器件的使用和具體的應用電路，以及半導體器件參數和等效電路。由於半導體技術涉及材料、微電子、電子、物理、化學等專業，屬￿交叉學科，還涉及許多全新的領域，相關教材及參考書籍較少，適合初學者入門的書籍更少。為此，本書在編寫過程中，通過提供詳細的圖表和豐富的實例來提高可讀性與易懂性，為讀者進入半導體這一領域提供了一本入門指南。本書涵蓋大量具有代表性的與半導體相關的內容，主要強調對基礎器件結構及內部工作機制的基本認識。本書內容深入淺出、圖文並茂，適合半導體領域的工程技術人員、大專院校的學生作為專業技術的學習資料，也可以作為廣大科技愛好者瞭解半導體技術的初級讀物。讀者通過對本書內容的閱讀，也將為後續的深入學習，如集成電路製造、集成電路設計、集成電路測試等打下理論基礎。

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本書著重介紹了半導體製造設備，並從實踐的角度出發，選取了具有代表性的設備進行講解。為了讓讀者加深對各種設備用途的理解，採用了一邊闡述半導體製造工藝流程、一邊說明各製造工藝中所使用的製造設備及其結構和原理的講解方式，力求使讀者能夠系統性地瞭解整個半導體製造的體系。本書可作為從事集成電路工藝與設備方面工作的工程技術人員，以及相關研究人員的參考用書，也可作為高等院校微電子、集成電路相關專業的規劃教材和教輔用書。