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本書是在對研究生教材《微機械與微細加工技術》的基礎上，結合微機電系統（MEMS）領域的研究成果編著而成的。全書分為6章，分別介紹了MEMS發展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術，MEMS設計技術，以及典型微器件與微系統和微測試技術。在介紹微加工工藝方面，本書結合大量工藝實例，易於學生理解，有助於提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源於實驗室的課題研究實例，內容充實新穎。本書可以作為高年級本科生和研究生學習微機電系統相關課程的教材，也可供工程技術等專業人員參考。

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微型傳感器(第2版)（簡體書）

出版日：2018/12/01 作者：阮勇; 董永貴 出版社：清華大學出版社(大陸) 裝訂：平裝

針對微傳感器技術發展速度快，一些理論、方法及實現技術尚未成熟的特點，本書緊密結合微傳感器的最新發展動態，對熱、輻射、機械、磁、化學量微傳感器的基本理論及實現技術進行分類闡述，同時介紹了微傳感器系統及其數據獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。幫助讀者在掌握微傳感器基礎知識的同時，建立微傳感器設計、研究、製作及實驗分析等方面的基本概念。做到面對具體的微傳感器問題時，能查到專

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