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商品簡介
目次
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本書是近20年來國內外大量相關文獻的綜合、分析、整理并結合作者的相關研究工作總結而成的。全書共分11章。第1章重點介紹了多弧離了鍍的沉積原理與技術特點；第2章、第3章介紹了多弧離子鍍的沉積工藝、大顆粒的控制及設備發展；第4～7章分別介紹了多弧離子鍍在超硬反應膜、離溫防護涂層、表面裝飾膜以及功能膜制備方面的應用，給出了豐富的應用實例；第8章介紹了多弧離子鍍技術制備成分設計及控制；第9章分析了超硬反應膜的形成元素；第10章、第11章分別介紹了多弧離子鍍的鍍－滲復合工藝和脈沖偏壓多弧離子鍍新技術。
本書適合從事材料表面改性，特別是從事真鍍空膜技術研究開發及實際生產應用的科技工作者閱讀，也可供材料表面工程專業的研究生、本科生參考。
本書適合從事材料表面改性，特別是從事真鍍空膜技術研究開發及實際生產應用的科技工作者閱讀，也可供材料表面工程專業的研究生、本科生參考。
目次
1 多弧離子鍍的沉積原理與技術特點
1.1 真空鍍膜技術概論
1.2 多弧離子鍍的基本結構與沉積原理
1.3 多弧離子鍍的技術特點
1.4 多弧離子鍍的應用
2 工藝參數及液滴的控制
2.1 大顆粒的產生
2.2 大顆粒的去除
2.3 大顆粒的控制效果
2.4 大顆粒控制的工藝實現及優化
參考文獻
3 多弧離子鍍設備的改進
3.1 國內外早期設備
3.2 現階段設備進展
3.3 設備技術發展方向
參考文獻
4 多弧離子鍍超硬反應膜
4.1 多弧離子鍍TiN超硬反應膜
4.2 多弧離子鍍CrN超硬反應膜
4.3 多弧離子鍍ZrN超硬反應膜
4.4 多弧離子鍍（Ti，A1）N超硬膜
4.5 多弧離子鍍（Ti，Cr）N超硬膜
4.6 多弧離子鍍（Ti，Zr）N超硬膜
4.7 多弧離子鍍多元超硬反應膜
參考文獻
5 多弧離子鍍高溫防護涂層
5.1 高溫防護涂層概述
5.2 MCrAIX高溫合金防護涂層
5.3 Ti-A1-Cr系高溫鈦合金防護涂層
5.4 熱障涂層
參考文獻
6 多弧離子鍍裝飾涂層
7 多弧離子鍍在功能薄膜中的應用
8 多弧離子鍍合金涂層的成分問題
9 超硬反應膜形成元素分析
10 多弧離子鍍、滲復合工藝
11 脈沖偏壓多弧離子鍍
1.1 真空鍍膜技術概論
1.2 多弧離子鍍的基本結構與沉積原理
1.3 多弧離子鍍的技術特點
1.4 多弧離子鍍的應用
2 工藝參數及液滴的控制
2.1 大顆粒的產生
2.2 大顆粒的去除
2.3 大顆粒的控制效果
2.4 大顆粒控制的工藝實現及優化
參考文獻
3 多弧離子鍍設備的改進
3.1 國內外早期設備
3.2 現階段設備進展
3.3 設備技術發展方向
參考文獻
4 多弧離子鍍超硬反應膜
4.1 多弧離子鍍TiN超硬反應膜
4.2 多弧離子鍍CrN超硬反應膜
4.3 多弧離子鍍ZrN超硬反應膜
4.4 多弧離子鍍（Ti，A1）N超硬膜
4.5 多弧離子鍍（Ti，Cr）N超硬膜
4.6 多弧離子鍍（Ti，Zr）N超硬膜
4.7 多弧離子鍍多元超硬反應膜
參考文獻
5 多弧離子鍍高溫防護涂層
5.1 高溫防護涂層概述
5.2 MCrAIX高溫合金防護涂層
5.3 Ti-A1-Cr系高溫鈦合金防護涂層
5.4 熱障涂層
參考文獻
6 多弧離子鍍裝飾涂層
7 多弧離子鍍在功能薄膜中的應用
8 多弧離子鍍合金涂層的成分問題
9 超硬反應膜形成元素分析
10 多弧離子鍍、滲復合工藝
11 脈沖偏壓多弧離子鍍
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