相關商品
商品簡介
商品簡介
本書第1版被翻譯成3種文字出版發行，並已被美國一些著名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。第1、2章概括了基本傳感原理和製造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執行方法，及其相關的傳感器與執行器；第10～11章詳細介紹了微製造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術，而器件製造方法則插入到實例研究中；第12章討論了工藝技術的綜合應用；第13章介紹了與聚合物有關的MEMS製造技術；第14章討論了微流控原理及應用。根據這些敏感與執行方法以及製造方法；第15章選擇了MEMS商業化產品實例進行介紹。
本書循序漸進，體系嚴密，適合作為微機電系統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀錶等專業的高年級本科生和研究生教材，也適合於這些領域的科技人員參考。
本書循序漸進，體系嚴密，適合作為微機電系統（MEMS）、傳感器、微電子、機械工程、儀器儀錶等專業的高年級本科生和研究生教材，也適合於這些領域的科技人員參考。
您曾經瀏覽過的商品
購物須知
大陸出版品因裝訂品質及貨運條件與台灣出版品落差甚大，除封面破損、內頁脫落等較嚴重的狀態，其餘商品將正常出貨。
特別提醒：部分書籍附贈之內容(如音頻mp3或影片dvd等)已無實體光碟提供，需以QR CODE 連結至當地網站註冊“並通過驗證程序”，方可下載使用。
無現貨庫存之簡體書，將向海外調貨：
海外有庫存之書籍，等候約45個工作天;
海外無庫存之書籍，平均作業時間約60個工作天，然不保證確定可調到貨，尚請見諒。
為了保護您的權益，「三民網路書店」提供會員七日商品鑑賞期(收到商品為起始日)。
若要辦理退貨，請在商品鑑賞期內寄回，且商品必須是全新狀態與完整包裝(商品、附件、發票、隨貨贈品等)否則恕不接受退貨。