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微電子製造技術實驗教程（簡體書）
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商品簡介
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本書是面向微電子及相關專業的實驗教程，以微電子器件製造過程為主線，重點闡述學生在微電子製造技術學習中必須掌握的基礎知識和實驗方法。第1、2章介紹清洗、氧化、擴散、離子注入、光刻、刻蝕、沉積等相關製造工藝的基礎知識和基礎實驗，詳細闡述各項單步工藝的實驗原理、實驗設備、實驗方法和步驟。第3章介紹微電子器件製造過程中的物理性能測試實驗和電學性能測試實驗。第4章介紹二極管、肖特基二極管、三極管、CMOS管、集成電阻器等器件的製造以及集成運算放大器的參數測試、邏輯IC功能和參數的測試兩個綜合實驗。全書共28個實驗項目，各實驗相互獨立，不同學校可根據實際實驗條件選用。
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