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射頻等離子體物理學（簡體書）
商品資訊
系列名：現代應用物理學叢書
ISBN13：9787030459190
出版社：科學出版社
作者：(法)帕斯卡‧夏伯特
譯者：王友年
出版日：2021/12/28
裝訂／頁數：平裝／321頁
規格：23.5cm*16.8cm (高/寬)
版次：一版
人民幣定價：128 元
定價
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商品簡介
商品簡介
針對微電子工業中的材料處理工藝（如半導體晶片加工），介紹有關的的低氣壓射頻等離子體的產生方法及物理特性，涉及目前最重要的三種射頻等離子體源（單頻及多頻電容耦合，電感耦合，螺旋波耦合）及其關聯性。書中也論述了低溫高密度等離子體在微電子器件製備等領域應用的最新進展及相關技術問題。作者在書中精心設計了超過100道習題，有利於讀者深入瞭解掌握所涉及的基本概念。
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