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商品簡介
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《集成電路製造工藝技術體系》從三個方面系統地論述集成電路的製造技術。首先是製造對象，對工藝結構及結構所對應的電子器件特性進行深入的分析與揭示。其次是生產製造本身，詳細討論集成電路各單步作用的本質性特徵及各不同工藝技術在成套流程中的作用，討論高端製造的組織、調度和管理，工藝流程的監控，工藝效果分析與診斷等內容。最後是支撐半導體製造的設備設施，該部分的論述比較簡明，但是也從整體和系統的角度突出了製造設備的若干要素。
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