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半導體薄膜技術基礎（簡體書）
商品資訊
系列名：微電子與集成電路設計系列規劃教材
ISBN13：9787121328800
出版社：電子工業出版社
作者：李曉干; 劉猛; 王奇
出版日：2018/03/07
裝訂／頁數：平裝／140頁
規格：26cm*19cm (高/寬)
版次：一版
商品簡介
商品簡介
本書對當前主要應用的薄膜技術及相關設備進行了深入淺出的介紹，主要包括作爲最重要的半導體襯底的矽單晶材料學、薄膜基礎知識、PVD技術、CVD技術及其他相關的薄膜加工技術，在對各種技術進行介紹的同時，還對各種技術所應用的設備進行簡要介紹。本書提供配套電子課件。 本書作爲半導體薄膜技術的入門書籍，既有薄膜技術的基本理論介紹，又提供了大量的設備基本結構知識，可以作爲微電子等相關專業學生的教學參考書，對從事薄膜技術的工程技術人員而言，也可以作爲相關的參考資料。
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