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商品簡介
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本書系統介紹了氣敏、濕敏、熱敏、磁敏、力敏、光敏和離子敏等半導體敏感元件與傳感器的工作原理、製作工藝、特性參數及其應用舉例,並介紹了半導體傳感器技術的新發展。全書內容豐富,特色鮮明,各章後配有習題。
本書適合用作高等學校電子科學與技術、電子信息科學與技術、微電子學等專業相關課程的教材,也可供從事半導體傳感器技術、微電子技術研究的工程人員參考。
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