Sobre a Fabricação Litográfica de Nanoestruturas Fe e Co

A indtria de semicondutores impulsiona e tamb幦 beneficia muito com o desenvolvimento da nanotecnologia. Como previsto pela lei de Moore, o nero de nanocomponentes individuais, tais como trans疄tores num chip, continua a aumentar, aumentando a densidade de entidades funcionais e melhorando assim a pot瘽cia computacional. Um m彋odo poderoso para o fabrico controlado ?escala nanom彋rica ?o processamento induzido por feixe de electr髊s focalizado (FEBIP). Nele, um feixe de electr髊s focalizado ?utilizado para modificar localmente as propriedades de um substrato, permitindo o fabrico de nanoestruturas com forma arbitr嫫ia e composi誽o qu璥ica controlada. A t嶰nica FEBIP mais frequentemente aplicada e proeminente ?a deposi誽o induzida por feixe de electr髊s (EBID), na qual certas mol嶰ulas precursoras s緌 localmente dissociadas pelo impacto do feixe de electr髊s, levando ?deposi誽o dos fragmentos n緌 vol嫢eis dos precursores. Neste livro, foram realizadas investiga踥es na fabrica誽o e aplica誽o da nanoestrutura pelo EBID.