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商品簡介
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《MEMS/NEMS諧振器技術》主要介紹微/納機電系統(MEMS/NEMS)諧振器動力學設計理論、分析方法及應用技術。《MEMS/NEMS諧振器技術》共9章，主要內容包括：MEMS/NEMS技術基礎和MEMS/NEMS諧振器技術的發展歷程與發展趨勢；諧振器的工作原理、諧振結構設計理論及分析技術；諧振器件製備涉及的材料、微納加工工藝及技術；諧振器中存在的豐富非線性現象和複雜動力學行為；微納尺度下的能量耗散理論、阻尼特性、作用機制及測試方法；諧振器中應用的各種振動激勵與檢測原理及技術；通道式MEMS/NEMS諧振器檢測原理、動力學設計與分析技術；微納尺度下諧振器件的模態弱耦合作用機制、諧振器設計及傳感技術；諧振器中存在的典型失效模式與失效機理，以及多種可靠性評估方法和測試技術。
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