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本書主要是一本系統介紹高k柵介質及其在器件中應用探索的教材。主要內容包括微電子器件發展的背景、進展趨勢及其面臨的科學問題;高k柵介質的物理基礎、製備及其表徵;稀土基高k柵介質的界面調控及MOS器件性能優化;然後介紹高k柵介質在器件中應用探索,包括:高k柵介質與Si-MOSFET器件集成;高k柵介質與高遷移率場效應器件集成;高k柵介質與OTFT器件集成;高k柵介質與VTFT集成; 高k柵介質與存儲器件;高k柵介質與神經器件及計算。
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