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商品簡介
商品簡介
本書系統介紹了原子層沉積技術原理及生物傳感應用，共分7章，主要內容包括原子層沉積（ALD）技術的基本原理、特點、系統和工作模式，聚焦於ALD技術的拓展，涉及了ALD在摩擦、電磁、噪聲、量子和生物傳感器領域的應用，重點介紹該技術在生物醫學檢測領域的前沿發展，在闡明ALD技術基本原理的同時，介紹其在前沿領域的先進性和實際應用。 本書可供微納製造與傳感檢測等領域的技術工作者閱讀使用，也可作為高等院校相關專業師生的參考書。
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