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商品簡介
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集成電路是現代電子技術的核心，隨著集成電路產業迅猛發展，對專業人才的需求正急劇上升。本書從集成電路製造的工藝、設備、廠務3個關鍵內容出發，融合了集成電路製造的理論基礎和前沿實踐技術，深入淺出地探討了集成電路製造的全過程。通過大量工藝設備的使用案例分析、實驗數據、設備操作標準程序和教學實踐視頻，幫助讀者掌握實際操作。此外，在介紹當前主流製造技術的同時，還深入講解了產業界量產設備的基本原理、動力需求和應用實踐，使讀者理解產業界量產設備與科研設備的區別。 上海科技大學材料器件中心聚焦集成電路先進製造領域卓越工程師的人才培養任務，依託先進一流的設備資源、資深工程師團隊，聯合產業界專家，將集成電路先進
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