Mikrosysteme: Micro-Electro-Mechanical Systems (Mems)

Das vorliegende Lehrbuch bietet eine kompakte Zusammenfassung des Wissens, das f die Anwendung von Mikrosystemen notwendig und hilfreich ist. Es vermittelt den aktuellen Stand der Technik und illustriert anhand ausgew鄣lter Beispiele den Einsatz verschiedenster Technologien und L飉ungsans酹ze. Im ersten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf den Materialien und Technologien, die zur Herstellung von Mikrosystemen angewendet werden. Neben einer kurzen Zusammenfassung der Halbleitertechnologien, werden die speziellen zus酹zlichen Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen beschrieben. Desweiteren werden spezielle Packagings f Mikrosysteme vorgestellt. Im zweiten Teil des Lehrbuchs liegt der Fokus auf MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems). Diese Sensoren spielen eine entscheidende Rolle in der modernen Sensorik und finden in einer Vielzahl von Anwendungen ihren Platz. Von der Industrie, wo sie die Automatisierung von Prozessen erm鐷lichen und pr鉺ise Daten zur Prozesssteuerung liefern, bis hin zur Medizintechnik, wo sie f die 鈁erwachung von Vitalparametern wie Herzschlag und Blutzucker eingesetzt werden. Sogar im Alltagsleben sind Sensoren allgegenw酺tig - zum Beispiel in Smartphones, wo sie Funktionen wie Bildschirmrotation und Helligkeitsanpassung steuern. Die technologischen Fortschritte bei Sensoren sind beeindruckend: Moderne Sensoren werden immer kleiner, effizienter und pr鉺iser. Diese Miniaturisierung er鐪fnet neue Anwendungsm鐷lichkeiten in der Zukunft, wie zum Beispiel in der Wearable-Technologie, wo Sensoren in Kleidung oder direkt am K顤per getragen werden k霵nen. Im dritten Teil des Lehrbuchs werden g鄚gige Signalverarbeitungsalgorithmen behandelt, die bei der Ansteuerung und Datenauswertung mithilfe von Mikrocontrollern zum Einsatz kommen. Diese Algorithmen sind von entscheidender Bedeutung f die effiziente Verarbeitung von Messdaten und erm鐷lichen eine pr鉺ise Steuerung und Auswertung in verschiedenen Anwendungen. Die Inhalte dieses Lehrbuchs basieren auf dem Vorlesungsstoff der Module Mikrosystemtechnik im Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Sensorsysteme im Masterstudiengang Elektrotechnik an der Hochschule Bielefeld. Darer hinaus ist das Buch an alle Ingenieure adressiert die MEMS-Bausteine im industriellen Umfeld einsetzen.