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商品簡介
商品簡介
本書是根據微電子工藝實驗的基本教學要求編寫的，秉持“理論與實踐並重”的理念，在內容安排上注重對學生實驗技能的培養。全書精心設計了12個實驗，包括1個工藝模擬基礎實驗、6個單步工藝實驗和5個成套工藝實驗。每個實驗均配有詳細的操作指導，還安排了啟發性思考題和拓展實驗內容，便於開展分層教學，各校可根據自己的需求選做。 本書可作為高等院校微電子科學與工程、積體電路設計與集成系統、電子資訊工程等專業的實驗教材，也可作為積體電路製造工藝領域工程技術人員的參考用書。
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