商品簡介
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本書聚焦半導體材料和後摩爾新材料的太赫茲(THz)發射光譜技術,介紹THz發射光譜技術的原理、發展進程以及系統應用,展示 THz 發射光譜技術應用於積體電路領域的巨大價值,旨在為實現積體電路先進制程提供技術支撐和解決問題的思路。 本書主要內容包括半導體THz發射光譜起源、光學THz發射光譜物理基礎、光學THz輻射實驗技術、Ⅲ-Ⅴ族半導體驅動THz輻射、二維材料THz輻射、拓撲量子材料THz輻射、磁性材料THz輻射和鐳射THz發射顯微鏡。本書主要面向物理學、化學、材料科學等領域的科研人員、研究生,以及對THz技術感興趣的讀者。
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