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離子束拋光技術及其在強光元件組合製造工藝中的應用(簡體書)
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離子束拋光技術及其在強光元件組合製造工藝中的應用(簡體書)

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商品簡介

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本書以離子束拋光技術為基礎,從單晶矽反射鏡的宏觀毫米尺度到微觀原子尺度,系統闡述了單晶矽反射鏡在時代發展下的高精度低缺陷製造技術,結合典型單晶矽元件的納米級表面精度與低缺陷的製造需求,闡述了離子束曲面去除函數的仿真計算、離子束傾斜入射下單晶矽表面質量演變研究、功能序構層吸收機理及其對光學性質影響、單晶矽原子功能序構層調控工藝優化、中高頻誤差的吸收特性與抑制方法、聯合工藝研究。

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