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高k柵介質材料與器件集成（簡體書）
作者：
何剛
出版社：
清華大學出版社(大陸)
出版日：
2023/09/09
裝訂：
平裝
本書主要是一本系統介紹高k柵介質及其在器件中應用探索的教材。主要內容包括微電子器件發展的背景、進展趨勢及其面臨的科學問題；高k柵介質的物理基礎、製備及其表徵；稀土基高k柵介質的界面調控及MOS器件性能優化；然後介紹高k柵介質在器件中應用探索，包括：高k柵介質與Si-MOSFET器件集成；高k柵介質與高遷移率場效應器件集成；高k柵介質與OTFT器件集成；高k柵介質與VTFT集成； 高k柵介質與存儲器件；高k柵介質與神經器件及計算。
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