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半導體科學與技術叢書

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III族氮化物的X射線衍射分析(簡體書)
滿額折
出版日:2025/06/01 作者:王文樑  出版社:科學出版社  裝訂:精裝
本書共7章。第1章概述了Ⅲ族氮化物薄膜的研究現狀、X射線衍射的基本原理及其在該材料體系中的應用背景;第2章探討了X射線衍射在薄膜面內外取向關係分析中的具體應用;第3章介紹了原位X射線衍射技術及其在薄膜外延生長即時監測中的應用;第4章論述了X射線衍射測定薄膜晶格常數的技術要點,並對測量誤差來源進行了分析;第5章闡述了X射線衍射在薄膜應力分析中的應用;第6章探討了X射線衍射技術在薄膜缺陷表徵中的應用及其誤差控制方法等。
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