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III族氮化物的X射線衍射分析（簡體書）
商品資訊
系列名：半導體科學與技術叢書
ISBN13：9787030826497
出版社：科學出版社
作者：王文樑
出版日：2025/06/01
裝訂／頁數：精裝／222頁
規格：24cm*17cm (高/寬)
商品簡介
商品簡介
本書共7章。第1章概述了Ⅲ族氮化物薄膜的研究現狀、X射線衍射的基本原理及其在該材料體系中的應用背景；第2章探討了X射線衍射在薄膜面內外取向關係分析中的具體應用；第3章介紹了原位X射線衍射技術及其在薄膜外延生長即時監測中的應用；第4章論述了X射線衍射測定薄膜晶格常數的技術要點，並對測量誤差來源進行了分析；第5章闡述了X射線衍射在薄膜應力分析中的應用；第6章探討了X射線衍射技術在薄膜缺陷表徵中的應用及其誤差控制方法等。
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