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超精密工程徹底查明物質的要素，高精度提高性能，使工程更加由理學領域進入生物、生命領域。
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第一篇 超精密工具機之設計和機構
- 超精密工具機的設計
- 超精密工具機之導軌和驅動機構
- 超精密工具機之微小運動機構
- 超精密車床的製作
- 高精度非球面加工裝置的製作
第二篇 超精密工具機之熱、振動對策和作業環境
6. 超精密工具機之溫度控制
7. 超精密加工所需的防振技術
8. 超精密工具機之抑振技術
9. 超精密作業環境的計畫
第三篇 超精密加工的機構和被切削材料，測量
10. 超精密切削加工的機構和加工例
11. 超精密研磨加工的機構和加工例
12. 超精密拋光加工的機構和加工例
13. 超精密加工和被切削材料
14. 超精密加工機械之位置偵測的量測技術
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