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商品簡介
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微系統的尺度小，材料組合性強，功能多，對它的測量與檢測構成了該領域新的挑戰。本書內容豐富，覆蓋面廣，彙聚了各國知名大學共28位作者的卓越成果。書中將檢測技術原理與眾多應用實例相結合，介紹了微系統檢測的應用光學技術，主要提供該領域中典型光學檢測技術的全面回顧，包括光散射法、掃描探針顯微技術、共焦顯微技術、條紋投影技術、柵格和莫爾技術、干涉顯微技術、鐳射多普勒測振技術、全息術、散斑測量術及光譜技術，同時還詳述了上述技術相關資料的獲取和處理方法。
本書是微納米檢測領域一本不可多得的參考書，適合從事微納製造、微系統檢測的科技人員、高等院校相關研究方向的師生參考使用。
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