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微米加工與納米製造(簡體書)
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微米加工與納米製造(簡體書)

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商品簡介

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本書是微米/納米加工技術方面的一本優秀著作,既有一定的理論深度,又有足夠的廣度,而且還有較高的可讀性。它較為系統地梳理了微米加工(特別是非矽基加工)技術以及納米加工手段,結合微流體、微慣性器件、納米感測器等方面的典型案例,闡釋了這些技術的原理和特點,提出了特定問題的高效率解決方案,給出了工藝設計方面的指南,並對這些技術的發展走向做出了高屋建瓴的判斷。

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