MEMS技術前沿與應用發展（簡體書）

本書首先從MEMS的概念內容、發展歷史、優勢特點、應用領域等方面概述了MEMS技術，然後從共性技術、典型應用等角度重點介紹了各類MEMS技術的國內外進展，國內外MEMS應用研究的實例，MEMS應用現狀及發展趨勢。 適合於MEMS技術、微系統技術等領域的科技開發者、科研管理者，高等院校的科研人員、高年級本科生、研究生以及相關科技人員閱讀。

第1章 緒論

1.1 MEMS的概念

1.2 MEMS的歷史

1.3 MEMS的特點

1.4 MEMS與IC的區別

1.5 MEMS的現狀及應用領域

參考文獻

第2章 MEMS製造與集成技術

2.1 緒論

2.2 MEMS製造技術發展

2.2.1 矽微加工技術概述

2.2.2 非矽微加工技術概述

2.2.3 其他加工製造技術

2.2.4 材料製備技術

2.2.5 MEMS器件封裝技術

2.3 MEMS製造技術應用實例

2.3.1 MEMS製造技術應用實例

2.4 集成技術發展

2.4.1 集成技術發展

2.4.2 微納器件的三維集成

2.4.3 微納器件的系統集成

2.5 MEMS集成技術應用實例

2.5.1 軍事應用

2.5.2 航天應用

2.5.3 生物應用

2.5.4 產業進展

2.6 MEMS製造與集成技術展望

2.7 本章小結

參考文獻

第3章 MEMS測試技術

3.1 緒論

3.2 測試技術發展歷程

3.2.1 測試技術歷史回顧

3.2.2 測試技術的國內外發展現狀

3.3 測試技術發展關鍵技術

3.4 測試技術應用實例

3.4.1 MEMS繼電器測試

3.4.2 MEMs掃描微鏡測試

3.5 本章小結

參考文獻

第4章 慣性MEMS技術

4.1 緒論

4.2 MEMS加速度計

4.2.1 單軸電容檢測式MEMS加速度計

4.2.2 三軸電容檢測式MEMS加速度計

4.2.3 其他檢測方式的MEMs加速度計

4.3 MEMS陀螺

4.3.1 振動式MEMS陀螺

4.3.2 轉子式微陀螺

4.3.3 微光機電陀螺

4.4 微慣性測量單元

4.4.1 微組裝慣性測量單元

4.4.2 單片集成慣性測量單元

4.5 慣性器件發展趨勢

4.6 本章小結

參考文獻

第5章 RF MEMS技術

5.1 緒論

5.2 技術發展

5.2.1 RF MEMS開關的研究

5.2.2 RF MEMS移相器的研究

5.3 應用實例

5.4 產業進展

5.5 關鍵技術及展望

5.6 本章小結

參考文獻

第6章 微能源MEMS技術

6.1 緒論

6.2 國內外發展研究進展

6.2.1 能源技術發展歷程

6.2.2 能量轉換技術

6.2.3 能量存儲技術

6.2.4 能量管理技術

6.3 應用實例

6.3.1 航天領域

6.3.2 無線傳感領域

6.3.3 軍事領域

6.4 產業進展

6.5 本章小結

參考文獻

第7章 BiO-MEMS技術

7.1 緒論

7.2 國內外研究進展

7.2.1 歷史回顧

7.2.2 Bio-MEMS應用分類

7.3 技術發展

7.3.1 Bio-MEMS與生物微傳感器

7.3.2 Bio-MEMS的生化分析與檢測

7.3.3 Bio-MEMS與組織工程

7.3.4 Bio-MEMS與醫療植入體

7.4 應用實例

7.4.1 戰場救護與災難急救生化微系統

7.4.2 載人航天與空間生化微系統

7.5 產業進展

7.6 本章小結

參考文獻

第8章 可穿戴/植入MEMS技術

8.1 緒論

8.2 技術發展

8.2.1 醫療健康

8.2.2 運動信息檢測

8.2.3 人體能量收集

8.3 應用實例

8.3.1 智能手錶

8.3.2 智能眼鏡

8.3.3 智能衣物

8.4 產業進展

8.5 本章小結

參考文獻

第9章 空間MEMS技術

9.1 空間MEMS技術簡介

9.2 空間MEMS技術發展

9.2.1 慣性導航系統

9.2.2 姿態測量與控制

9.2.3 微推進系統

9.2.4 熱量控制系統

9.2.5 MEMS微掃描鏡

9.2.6 MEMS原子鐘

9.2.7 國內自主研製開發的空間MEMS器件

9.3 應用實例

9.3.1 MEMS陀螺

9.3.2 MEMS加速度計

9.3.3 MIMU

9.3.4 MOMES

9.3.5 MEMS原子鐘

9.4 產業進展

9.5 本章小結

參考文獻

第10章 極端環境MEMS技術

10.1 緒論

10.1.1 應用背景――用於高溫環境下的MEMS

10.1.2 國內外發展概述

10.2 技術發展

10.2.1 與高溫MEMS器件相關的材料問題

10.2.2 SiC的相關工藝發展

10.2.3 新材料

10.3 應用實例

10.3.1 壓力傳感器

10.3.2 其他類型傳感器和執行器

10.4 產業進展

10.5 本章小結

參考文獻

第11章 MEMS的新原理和新效應

11.1 緒論

11.2 MEMS中的納米效應

11.2.1 一維矽納米材料

11.2.2 石墨烯納米材料

11.3 MEMS中的量子效應

11.4 MEMS中的三維打印技術

11.5 產業進展

11.6 本章小結

參考文獻

第12章 MEMS產業化

12.1 緒論

12.2 MEMS器件

12.2.1 MEMS振盪器

12.2.2 MEMS麥克風

12.2.3 MEMS微鏡頭

12.2.4 CMOS圖像傳感器

12.2.5 MEMS壓力傳感器

12.2.6 MEMS運動測量器件

12.2.7 數字微鏡元件DMD/數字光處理DLP

12.2.8 其他MEMS器件

12.3 MEMS商業產品

12.3.1 消費類電子

12.3.2 汽車工業

12.3.3 微能源器件

12.3.4 其他應用

12.4其他相關產業

12.4.1 氣體傳感器

12.4.2 生物MEMS

12.4.3 指紋傳感技術

12.4.4 微流控技術

12.5 產業進展

12.5.1 總論

12.5.2 MEMS廠商

12.5.3 MEMS產業發展趨勢

12.5.4 MEMS國內企業佈局

12.5.5 MEMS下游應用場景

12.6 本章小結

參考文獻