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$199以下 (1)

出版日期


2016年以前 (1)

裝訂方式


平裝 (1)

作者


汪禧年、謝瑞豪 (1)

出版社/品牌


行政院勞委會勞工安全衛生研究所 (1)

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半導體黃光製程有害物暴露及異味調查研究

1.半導體黃光製程有害物暴露及異味調查研究

作者:汪禧年; 謝瑞豪  出版社:行政院勞委會勞工安全衛生研究所  出版日:2011/03/01 裝訂:平裝
半導體潔淨室黃光區(Photo area)異味問題,一直為國內高科技產業潔淨室工業安全衛生的困擾,輕微異味會引起勞工的報怨影響工作效率,發生嚴重異味時,甚至於暫時撤廠,每年發生的暫時撤廠,造成嚴重之停產損失。此外為了潔淨室的空氣品質,需要以大量的新鮮空氣稀釋,也需要使用的化學濾網去除環境中的揮發性有機氣體,有異味發生時,外氣稀釋量需要增加,同時也減少化學濾網的壽命,增加設施成本。本研究以系統性的方
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