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納米集成電路製造工藝（簡體書）
商品資訊
ISBN13：9787302360278
出版社：清華大學出版社(大陸)
作者：張汝京
出版日：2014/07/01
裝訂／頁數：平裝／433頁
規格：23.5cm*16.8cm (高/寬)
版次：1
人民幣定價：69.00 元
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商品簡介
商品簡介
本書共分19章，涵蓋先進積體電路工藝的發展史，積體電路製造流程、介電薄膜、金屬化、光刻、刻蝕、表面清潔與濕法刻蝕、摻雜、化學機械平坦化，器件參數與工藝相關性，DFM（Design for Manufacturing）， 積體電路檢測與分析、積體電路的可靠性，生產控制，良率提升，晶片測試與晶片封裝等專案和課題。
國內從事半導體產業的科研工作者、技術工作者和研究生可使用本書作為教科書或參考資料。
國內從事半導體產業的科研工作者、技術工作者和研究生可使用本書作為教科書或參考資料。
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