微细加工技术(電子書)
商品資訊
ISBN:9787301346365
出版社:北京大学出版社有限公司
作者:刘志东
出版日:2024/01/01
裝訂:電子書
檔案格式:EPUB
商品碼:2222221990726
定價
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商品簡介
商品簡介
本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术,以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用,使读者能够准确地理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理及应用。全书共6章,包括绪论、微细切削加工技术、微细特种加工技术、硅材
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