微機電系統設計與製造(簡體書)

微機電系統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和適于大批量生產，成本低廉等一系列優點，有巨大的應用前景和經濟效益，被公認為21世紀的重點發展高科技前沿學科。 本書主要從普及的角度介紹微機電系統及其相關技術，全書共分為12章，分別對微機電系統的定義、起源及研究現狀、制造技術、系統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統全面，包含了微機電系統制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電系統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微系統的工作機理；先進的微機電系統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。 本書可供希望了解或采用微機電系統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業等選修課時的教學參考書。

第1章　概論
　1.1　微機電系統簡介
　1.2　微機電系統的起源
　1.3　微機電系統的發展現狀
第2章 微機電系統材料
　2.1　硅材料
　2.2　壓電材料
　2.3　形狀記憶合金　
　2.4　超磁致伸縮材料
　2.5　凝膠
　2.6　電流變體
第3章 微機械加工技術
　3.1　傳統超精密與特種加工技術　
　3.2　微機電系統常用的集成電路工藝
　3.3　硅微機械加工技術
　3.4　光刻電鑄模造工藝
　3.5　微機械加工實例
第4章　微封裝
　4.1　封裝技術
　4.2　三維堆裝
　4.3　未來微機電系統封裝發展趨勢和方向
第5章　微檢測技術
　5.1　微結構的材料特性檢測技術
　5.2　微機電系統構件的幾何量檢測
　5.3　微系統的性能檢測
第6章　微傳感器
　6.1　物理傳感器
　6.2　微型化學量傳感器
　6.3　微型生物傳感器
第7章　微執行器
　7.1　靜電執行器
　7.2　壓電執行器
　7.3　電磁執行器
　7.4　SMA執行器
　7.5　熱執行器
　7.6　微流體執行器
第8章　微構件
　8.1　結構梁
　8.2　薄膜
　8.3　鉸鏈
　8.4　隧道探針
　8.5　壓阻換能器件
　8.6　靜電微構件
第9章　微系統應用
　9.1　在汽車工業中的應用
　9.2　微機器人
　9.3　微型飛行器
　9.4　在航空航天中的應用　
　9.5　在醫學中的應用
　9.6　在軍事中的應用
　9.7　在生物科學中的應用
　9.8　在信息技術中的應用
第10章　微尺度效應
　10.1　微摩擦基礎
　10.2　微尺度熱學
　10.3　微流體的尺度效應
　10.4　微流行器的的尺度效應
　10.5　尺度效應的實例
第11章　微機電系統設計技術
　11.1　引言
　11.2　微機電系統設計的概念、任務及類型
　11.3　微機電系統設計過程
　11.4　微機電系統健壯性設計方法簡介
　11.5　微機電系統設計方法學與發展方向
第12章　微機電系統計算機輔助技術
　12.1　MEMS CAD設計原則
　12.2　MEMS CAD結構體系
　12.3　MEMS建模與仿真
　12.4　宏模型
　12.5　建模語言VHDL-AMS簡介
　12.6　常用軟件介紹
參考文獻