崗亭式氣罩最佳化設計研究
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本計畫採用流場觀察,追蹤氣體測試,實際量測器櫃之性能。證實傳統化學氣櫃迴流洩漏問題,不易進行有效改善,僅能限定操作條件,提昇部份性能。計畫也研發新型氣櫃,使用較少氣流量,且獲得良好性能,值得推廣。
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